电子直线加速器是指用微波电磁场加速电子的直线型加速器。根据微波的类型可分为行波和驻波型电子直线加速器，其电子能量一般都较高（大于5MeV），输出功率在几kW到几十Kw，在辐射加工安全许可范围内，高能（大于5MeV）电子对被照射物具有最深的有效穿透，因而得到广泛利用。
电子直线加速器基本结构：电子直线加速器可根据辐照工艺的要求作成立式或卧式。
加速器电子枪工作在脉冲状态，根据需要设计注入加速管的电子束能量、脉冲流强、束流直径和发散角等。一般采用皮尔斯型电子枪，并采用在较低温度下电子发射电流密度较大的六硼化镧作阴极材料。加速管由聚束段和加速段两部分组成。加速管采用恒温水冷却措施，使温度变化不大于1度，以确保电子束运行参数稳定。聚焦线圈根据理论计算中的束包络聚焦要求设置。微波功率源，可以采用磁控管或速调管，根据需要，对电子进行加速，提供能量。磁控管或速调管所需的脉冲高压由脉冲调制器供给。脉冲调制器一般采用软管线性脉冲调制器，由直流高压电源向充电变压器、脉冲形成线的电容器进行谐振充电。高功率脉冲闸流管为放电开关，脉冲形成线经闸流管、脉冲变压器初级绕组组成放电回路，在脉冲变压器初级形成高压，在变压器次级输出脉冲电高压。在电压稳定度要求较高时，调制器需采用脉冲电压稳定装置。磁控管或速调管输出的微波功率经波导、定向耦合器、环流器等组成的微波传输系统，通过陶瓷窗进入加速管，对于系统中的剩余功率，由另配的吸收负载所吸收。
性能与特点：电子直线加速器的最高电子能量已超过几万MeV，但由于工业辐射安全的限制，工业辐照电子直线加速器的最高能量定为10MeV。此外，直线加速器的注入和引出效率都很高；束流强度取决于注入器的入射强度和高频电源的荷载能力。一般受高频源的制约只能脉冲工作，脉冲电流可达几百mA，平均流强为1mA至十几mA，即束流功率为1kW到十几kW。
